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2017-04-24R-14

 R-14主要用途

R-14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

R-14物化性质

冷媒名称

R-14

分子量

88.0

沸点(1atm),

-128

临界温度,

-45.67

临界压力,kPa

3740

饱和蒸气压(25),kPa

3650-45.6

汽化热/蒸发潜热(沸点下,1atm),kJ/kg

-

破坏臭氧潜能值(ODP

0

全球变暖潜能值(GWP100 yr)

5700

ASHRAE安全级别

A1(无毒不可燃)

 

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